RU 2046429 C1, 20.10.1995. JP 2007299921 A, 15.11.2007. US 2008/0186654 A1, 07.11.2008. WO 2008/047000 A2, 24.04.2008.
Имя заявителя:
Закрытое акционерное общество "НПП "Планета-Аргалл" (RU)
Изобретатели:
Галушко Владимир Сергеевич (RU) Осипов Андрей Михайлович (RU)
Патентообладатели:
Закрытое акционерное общество "НПП "Планета-Аргалл" (RU)
Реферат
Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано при производстве тонкопленочных гибридных и монолитных интегральных схем при изготовлении тонкопленочных конденсаторов. Техническим результатом изобретения является повышение выхода годных конденсаторов за счет снижения влияния дефектов диэлектрической пленки. Согласно изобретению пленочный конденсатор содержит первую и вторую обкладки, выполненные в виде металлических пленок, расположенный между обкладками диэлектрик, токовыводы, выполненные в виде части металлических пленок, выступающих над торцевыми сторонами диэлектрика, введены второй слой диэлектрика и расположенная между слоями диэлектрика промежуточная металлическая обкладка, состоящая из изолированных фрагментов. 2 ил.