|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНОГО КОНДЕНСАТОРА |  |
Номер публикации патента: 1581097 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01G004/10 | | Аналоги изобретения: | Патент Великобритании N 1493884, кл. H 01 G 4/10, 1978. Курмашев В.И., Лабунов В.А. и Шеров-Игнатьев Г.П. Тонкопленочные конденсаторы с диэлектрическим слоем оксида алюминия. - Техника средств связи, сер. ТПО, 1980, вып.2, с.3-8. |
| Имя заявителя: | | | Изобретатели: | Селезнев Б.И.
Смолкин В.Б.
Ткаль В. |
Реферат | |
Изобретение относится к технологии электронной техники и может быть использовано в производстве тонкопленочных гибридных интегральных схем при изготовлении тонкопленочных конденсаторов . Цель изобретения - повышение напряжения пробоя и увеличение влагостойкости. На диэлектрическую подложку, например ситалловую, вакуумным термическим испарением при давлении 2,66·10-4 Па и температуре подложки 250°C со скоростью 0,2 мкм/с наносится нижняя алюминиевая пленочная обкладка конденсатора, например, толщиной 0,5 мкм. Диэлектрический слой оксида алюминия формируется анодированием обкладки, например, в 0,5%-ном растворе винной кислоты в смеси воды и этиленгликоля 1 : 1. Толщина слоя 0,17-0,19 мкм. После анодирования обрабатывается слой оксида алюминия излучением лазера с длиной волны 1,06 мкм в режиме свободной генерации с плотностью энергии (1,5 - 35)·104 Дж/м2. На поверхность диэлектрического слоя наносится алюминиевая пленочная верхняя обкладка. Поглощение лазерного излучения, отраженного от поверхности электрода в области трещин диэлектрического слоя, обеспечивает разогрев и залечивание трещин, 1 табл.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента