|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ОЧИСТКИ ПЛЕНОК ОКСИДНЫХ МАТЕРИАЛОВ ОТ УГЛЕРОДСОДЕРЖАЩИХ ПРИМЕСЕЙ |  |
Номер публикации патента: 1447182 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01G004/10 | | Аналоги изобретения: | Авторское свидетельство СССР N 1148054, кл. H 01 G 4/10, 1983. |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт химии при Горьковском государственном университете им.Н.И.Лобачевского | | Изобретатели: | Александров Ю.А.
Селиверстов Н.Н |
Реферат | |
Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано при создании просветляющих, изолирующих и полупроводниковых структур на основе высших оксидов металлов. Цель изобретения - снижение температуры очистки, устранение твердофазного легирования и улучшение диэлектрических свойств пленок. Изолирующие подложки обрабатываются в окислительной озонкислородной среде в присутствии УФ-излучения. Облучение УФ-светом проводят с длиной волны 240-290 нм под углом 5-90o к подложке. Концентрацию озона в озонкислородной смеси поддерживают 0,01-11,0 об.%. Использование способа позволяет снизить температуру очистки до 18-25oC и улучшить такие свойства пленки, как диэлектрическая проницаемость, электрическая прочность и диэлектрические потери. 1 табл., 1 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента