US 5414588 А, 09.05.1995. US 2005/0164466 А1, 28.07.2005. RU 75784 U1, 20.08.2008. US 5742471 A, 21.04.1998.
Имя заявителя:
Общество с ограниченной ответственностью "БАРГАН ТЕХНОЛОДЖИ" (ООО "БТЕХ") (RU)
Изобретатели:
Барган Василий Александрович (RU) Барган Петр Александрович (RU) Кашин Дмитрий Евгеньевич (RU) Пейсахов Александр Викторович (RU) Больщиков Борис Дмитриевич (RU) Халявин Алексей Борисович (RU)
Патентообладатели:
Общество с ограниченной ответственностью "БАРГАН ТЕХНОЛОДЖИ" (ООО "БТЕХ") (RU)
Реферат
Изобретение относится к нанослойным структурам типа металл-диэлектрик-металл для микроэлектроники. Техническим результатом изобретения является создание многослойного нанокомпозита для конденсаторов с большой удельной энергоемкостью. Согласно изобретению многослойный нанокомпозит для конденсаторов содержит подложку из графитовой фольги плотностью от 0,27 до 1,2 г/см3, на лицевой поверхности которой последовательно расположены слой аморфного оксида алюминия, слой оксида титана модификации рутил и слой нитрида титана, сформированные методом атомно-слоевого осаждения. При этом нанесение слоя оксида алюминия ведут при температуре 270-330°С путем поочередной импульсной подачи в реакционную камеру прекурсоров: гриметилалюминия и озона. Нанесение слоя диоксида титана ведут при температуре 450-500°С путем поочередной импульсной подачи в реакционную камеру прекурсоров: четыреххлористого титана и воды, а нанесение слоя нитрида титана ведут при температуре 460-490°С путем поочередной импульсной подачи в реакционную камеру прекурсоров, в качестве которых используются четыреххлористый титан и аммиак. 2 н.п. ф-лы, 2 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента