На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ОРИЕНТИРОВАННЫХ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК МАГНИТНЫХ МАТЕРИАЛОВ

Номер публикации патента: 2068026

Вид документа:  C1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  94019370		Получить полное описание патента

Реферат

Способ получения ориентированных монокристаллических пленок магнитных материалов относится к области выращивания монокристаллических пленок и может быть использован для изготовления пленочных магнитных головок и магниторезистентных датчиков. Изобретение решает задачу получения монокристаллической пленки заданной ориентации на подложке с любой ориентацией или аморфной. Способ включает лазерное напыление в вакууме на подложку в магнитном поле, направление которого составляет с направлением напыления, угол, равный углу между кристаллографическим направлением легкого намагничивания и перпендикуляром к наиболее плотноупакованной кристаллографической плоскости материала пленки, подложку располагают так, чтобы для заданной ориентации монокристаллической пленки на подложке кристаллографическое направление легкого намагничивания совпадало с направлением магнитного поля, а наиболее плотноупакованная кристаллографическая плоскость была перпендикулярна направлению напыления, причем напыление проводят при температуре подложки не выше температуры Кюри материала пленки. Для увеличения размеров монокристаллическую пленку после напыления отжигают. Для увеличения относительного магнитосопротивления отжиг проводят в магнитном поле, направленном вдоль кристаллографической оси легкого намагничивания.

Вернуться к списку