|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ЛАЗЕРНОЙ ПОДГОНКИ ПЛЕНОЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ |  |
Номер публикации патента: 2276419 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01C017/24 | | Аналоги изобретения: | RU 2232441 C1, 10.07.2004. RU 2041511 C1, 09.08.1995. US 4929923 A, 29.05.1990. US 6007755 A, 28.12.1999. |
| Имя заявителя: | Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-исследовательский институт электронно-механических приборов" (ФГУП "НИИЭМП") (RU) | | Изобретатели: | Лугин Александр Николаевич (RU)
Власов Геннадий Сергеевич (RU) | | Патентообладатели: | Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-исследовательский институт электронно-механических приборов" (ФГУП "НИИЭМП") (RU) |
Реферат | |
Настоящее изобретение относится к области электронной техники и может использоваться в технологии производства тонкопленочных микросхем. Способ лазерной подгонки пленочных элементов интегральных схем, включающий непрерывное удаление материала пленочного элемента в виде непрерывного реза изменяющейся ширины лазерным лучом, сфокусированное пятно которого перемещается по поверхности пленочного элемента, испаряя его материал, до достижения заданного значения номинала подгоняемого параметра, лучу прид
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента