На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТЕРМОКОМПЕНСИРОВАННОГО ТЕНЗОРЕЗИСТОРА | |
Номер публикации патента: 2244970 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | H01C007/02 H01C017/24 G01K007/18 | Аналоги изобретения: | КЛОКОВА Н.П. Тензорезисторы: Теория, методики расчета, разработки, Москва, Машиностроение, 1990, с.224. RU 95109765 А1, 27.04.1997. SU 1517640 А1, 27.12.1995. DE 1648209, 20.04.1972. US 3503030, 24.03.1970. US 4104607, 01.08.1978. |
Имя заявителя: | Пензенский технологический институт (завод-втуз) филиал Пензенского государственного университета (RU) | Изобретатели: | Власов Г.С. (RU) Лугин А.Н. (RU) | Патентообладатели: | Пензенский технологический институт (завод-втуз) филиал Пензенского государственного университета (RU) |
Реферат | |
Устройство относится к электронной технике, в частности к тонкопленочной микроэлектронике. В способе изготовления термокомпенсированного тензорезистора, включающем напыление на гибкую диэлектрическую подложку резистивных слоев, формирование методом фотолитографии чувствительных элементов тензорезистора, измерение сопротивлений которых в процессе подгонки ТКС тензорезистора осуществляют омметром, подключенным к соответствующим контактным площадкам.
|