|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ЛАЗЕРНОЙ ПОДГОНКИ ПЛЁНОЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ |  |
Номер публикации патента: 2232441 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01C017/24 | | Аналоги изобретения: | RU 1701049 А1, 10.10.1999. RU 2041511 С1, 09.08.1995. RU 95111369 А1, 27.06.1997. US 6007755 А, 28.12.1999. US 4929923 А, 29.05.1990. |
| Имя заявителя: | Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-исследовательский институт электронно-механических приборов" (RU) | | Изобретатели: | Лугин А.Н. (RU)
Власов Г.С. (RU)
Лугина В.В. (RU) | | Патентообладатели: | Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-исследовательский институт электронно-механических приборов" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к области электротехники, в частности к производству тонкопленочных микросхем. Способ лазерной подгонки интегральных схем включает непрерывное удаление материала пленочного элемента в виде непрерывного реза изменяющейся ширины лазерным лучом, сфокусированное пятно которого перемещается по поверхности пленочного элемента, испаряя его материал до достижения заданного значения номинала.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента