|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНОГО РЕЗИСТОРА |  |
Номер публикации патента: 2208256 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01C017/22 | | Аналоги изобретения: | RU 2133514 С1, 20.07.1999. US 5110538 А, 10.08.1990. US 4929923 А, 26.05.1989. |
| Имя заявителя: | Пензенский технологический институт | | Изобретатели: | Власов Г.С.
Лугин А.Н. | | Патентообладатели: | Пензенский технологический институт |
Реферат | |
Изобретение относится к электронной технике, в частности к тонкопленочной микроэлектронике. Способ изготовления тонкопленочного резистора включает напыление на диэлектрическую подложку резистивных слоев из разнородных тонкопленочных структур, формирование примыкающих к одной из сторон диэлектрической подложки контактных площадок, формирование методом фотолитографии резистивных элементов из разнородных тонкопленочных материалов, определение величины сопротивления тонкопленочных резистивных элемент
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента