|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКИХ РЕЗИСТИВНЫХ ПЛЕНОК НА ОСНОВЕ СПЛАВА ТАНТАЛ - АЛЮМИНИЙ |  |
Номер публикации патента: 2028682 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01C017/06 | | Аналоги изобретения: | 1. Патент Японии N 55-5841, кл. H 01C 7/00, 1980. |
| Имя заявителя: | Государственное научно-производственное предприятие "Алмаз" | | Изобретатели: | Троицкий А.В.
Шерстобитова О.М.
Суров Ю.И.
Поволоцкий Е.Г. | | Патентообладатели: | Государственное научно-производственное предприятие "Алмаз" |
Реферат | |
Использование: микроэлектроника, технология изготовления прецизионных тонкопленочных резисторов. Сущность изобретения: пленку (П) на основе сплава тантал - алюминий с содержанием тантала 40 - 60 ат.% осаждают методом катодного распыления мишеней тантала и алюминия в атмосфере кислорода. Парциальное давление кислорода поддерживают равным (6,65-7,98)×10-2 , а осаждение П осуществляют со скоростью  Далее проводят отжиг в вакууме при температуре (650 - 900)°С. Указанные технологические режимы обеспечивают получение П с удельным сопротивлением до 5000 мк Ом. см и температурным коэффициентом сопротивления не более ± 5·10-5град-1
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента