RU 2036521 С1, 27.05.1995. SU 834778 А1, 30.05.1981. SU 1056281 A1, 20.11.1983. RU 2132629 C1, 10.07.1999. RU 93008622 А, 27.05.1995. SU 1119515 А1, 15.06.1994. JP 2002367804 А, 20.12.2002. US 5620651 А, 15.04.1997. JP 5223516 А, 31.08.1993. DE 19727911 А1, 07.01.1999.
Имя заявителя:
ОАО "НПО ЭРКОН" (RU)
Изобретатели:
Уваров Дмитрий Иванович (RU) Уткин Валерий Николаевич (RU)
Патентообладатели:
ОАО "НПО ЭРКОН" (RU)
Реферат
Изобретение относится к области электротехники и может быть использовано при изготовлении тонкопленочных резисторов с прецизионными характеристиками. Материал содержит хром, железо, алюминий, диоксид кремния, титан, окись алюминия, никель и диоксид церия при следующем количественном соотношении компонентов, мас.%: хром - 11÷31, железо - 7,5÷11,2, алюминий - 4,3÷9,8, диоксид кремния - 17,5÷41,7, титан - 5,6÷12,6, окись алюминия - 1,2÷2,7, никель - 3,2÷17,6, диоксид церия - 0,6÷1,3. Дополнительное введение в резистивный материал никеля и диоксида церия в указанном количестве обеспечивает получение тонкопленочных резисторов с удельным поверхностным сопротивлением от 1000 до 5000 Ом и ТКС (температурным коэффициентом сопротивления) ± 15×10-6 град-1 с увеличением процента выхода годных резисторов до 80-100 в диапазоне температур от 20 до 125°С. При этом в диапазоне температур от -60 до +20°С резисторы имеют более линейную зависимость ТКС от температуры, равную ± 25×10-6 град-1 со стабильностью ± 0,05% в течение 2000 ч при номинальной нагрузке при температуре окружающей среды 85°С, что является техническим результатом изобретения. 1 табл.