RU 2036521 С1, 27.05.1995. SU 1812561 A1, 30.04.1993. SU 834778 A1, 30.05.1981. SU 1056281 A1, 20.11.1983. RU 2132629 C1, 10.07.1999. RU 93008622 A, 27.05.1995. SU 1119515 A1, 15.06.1994. SU 255394 A1, 28.10.1969. JP 2002367804 A, 20.12.2002. US 5620651 A, 15.04.1997. JP 5223516 А, 31.08.1993. DE 19727911 А1, 07.01.1999.
Имя заявителя:
ОАО "НПО "ЭРКОН" (RU)
Изобретатели:
Уваров Дмитрий Иванович (RU) Уткин Валерий Николаевич (RU)
Патентообладатели:
ОАО "НПО "ЭРКОН" (RU)
Реферат
Изобретение относится к области электротехники, в частности к материалу и изготовлению из него тонкопленочных резисторов с прецизионными характеристиками. Материал для изготовления тонкопленочных резисторов содержит хром, железо, алюминий, диоксид кремния, окись алюминия, никель, диоксид церия при следующем количественном соотношении компонентов, мас.%: хром - 11÷31, железо - 7,5÷11,2, алюминий - 4,3÷9,8, диоксид кремния - 17,5÷41,7, титан - 5,6÷12,6, окись алюминия 1,2÷2,7, никель - 3,2÷17,6, диоксид церия - 0,6÷1,3. Введение в материал дополнительно окиси алюминия, никеля и диоксида церия обеспечивает получение тонкопленочных резисторов с удельным поверхностным сопротивлением от 400 до 1000 Ом и ТКС (температурным коэффициентом сопротивления) ± 15×10-6 1/°С с выходом годных резисторов 100%, а по ТКС ± 10×10-6 1/°С с выходом годных резисторов 90-100% в каждой изготовленной партии в диапазоне температур от 20 до 125°С, а в диапазоне температур от -60 до +20°С имеет более линейную зависимость ТКС от температуры, равную ±10-15×10-6 1/°С со стабильностью ±0,01% в течение 2000 ч при номинальной нагрузке при температуре окружающей среды 85°С, что является техническим результатом изобретения. 1 табл.
Поиск патентов
Получить полное описание патента