|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ЕМКОСТНЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2171455 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01L007/08 H01C007/00 | | Аналоги изобретения: | SU 1778576 A1, 30.11.1992. SU 1796933 А1, 23.02.1993. RU 2010196 C1, 30.03.1994. RU 2051347 С1, 27.12.1995. RU 94015092 А1, 10.01.1993. US 5241864 A, 07.09.1993. US 4875134 A, 17.10.1989. US 4838088 A, 13.06.1989. US 4609966 A, 02.09.1986. |
| Имя заявителя: | КЭЙС ВЕСТЕРН РЕСЕРВ ЮНИВЕРСИТИ (US) | | Изобретатели: | КО Вен Х. (US) | | Патентообладатели: | КЭЙС ВЕСТЕРН РЕСЕРВ ЮНИВЕРСИТИ (US) | | Номер конвенционной заявки: | 08/343,712 | | Страна приоритета: | US | | Патентный поверенный: | Клюкин Вячеслав Александрович |
Реферат | |
Изобретение относится к измерениям и предназначено для измерения давления в промышленных условиях. Технический результат заключается в обеспечении электрического сквозного соединения, стабильной работы и упрощения измерительных операций. Емкостный датчик абсолютной величины давления 10 включает подложку 14, имеющую электрод 24, расположенный на ней, и диафрагменный узел 12, расположенный на подложке 14. При увеличении давления диафрагма 16 прогибается, соприкасается с электродом 24 (в сенсорном режиме) и изменяет электрическую емкость датчика 10. Измерение изменения емкости позволяет определить изменение давления. Скрытое сквозное соединение используется для определения изменения электрической емкости полости под диафрагмой 16 и таким образом измерения давления. Вакуумное состояние в полости обеспечивается соответствующим выбором толщины измерительного электрода и изолирующего слоя, подвергнутых термообработке, и герметическим соединением диафрагменного узла 12 с подложкой 14. 2 с. и 19 з.п. ф-лы, 18 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента