На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ТЕРМОРЕЗИСТОР | |
Номер публикации патента: 2058604 | |
Редакция МПК: | 6 | Основные коды МПК: | H01C007/02 | Аналоги изобретения: | Зайцев Ю. В. Полупроводниковые термические преобразователи. М.: Радио и связь, 1985, с.27-31. |
Имя заявителя: | Московский институт электронной техники | Изобретатели: | Тузовский К.А. Андреев В.М. Зиновьев Д.В. Гришаев А.А. | Патентообладатели: | Московский институт электронной техники |
Реферат | |
Изобретение предназначено для прецизионных измерений температуры. Полупроводниковый терморезистор выполнен в виде монокристалического кремниевого резистора с контактами к нему. В в плане резистор имеет форму меандра. Он размещен в канавке, сформированной в подложке из высокоомного поликремния, и изолирован от нее слоем окисла кремния. Для снижения инерционности под всей площадью резистора имеется полость. Высокое сопротивление обеспечивает низкие измерительные токи и снижение уровня собственных шумов, что позволяет использовать изобретение для измерений в диапазоне -100...+600oС с точностью до десятых долей градуса. 1 з. п. ф-лы, 3 ил.
|