На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО ТЕРМОРЕЗИСТОРА | |
Номер публикации патента: 94022634 | |
Вид документа: | A1 | Страна публикации: | RU | Рег. номер заявки: | 94022634 |
|
|
|
Имя заявителя: | Товарищество с ограниченной ответственностью - Фирмма "Бронкс" | Изобретатели: | Крячков В.А. Хряпенков С.Е. Санжарлинский Н.Г. Самойлович М |
Реферат | |
Изобретение относится к электронной технике, в частности к полупроводниковым терморезисторам. Технической задачей изобретения является повышение стойкости терморезистора к агрессивным средам. Указанная задача достигается тем, что в способе изготовления полупроводникового терморезистора сначала выращивают термочувствительный элемент из монокристалла синтетического полупроводникового алмаза. Затем на нем, как на затравке, наращивают вокруг всего полупроводникового алмаза тонкий изолирующий слой синтетического диэлектрического алмаза. В последнем выполняют окна и через эти окна к полупроводниковому алмазу присоединяют электрические выводы с образованием высокотемпературных оммических контактов. Дополнительно на слой синтетического диэлектрического алмаза наращивают подогреватель в виде резистивного слоя полупроводникового вырожденного алмаза с электрическими выводами на наружных гранях. В резистивном слое выполняют окна напротив окон в слое диэлектрического алмаза.
|