На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МНОГОСЛОЙНЫХ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ РЕЗИСТОРОВ | |
Номер публикации патента: 2145744 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | H01C017/00 H01C007/06 | Аналоги изобретения: | SU 1115113 A, 23.09.84. RU 2046416 C1, 20.01.95. JP 54-34901 A, 30.10.79. JP 50-25149 A, 21.08.75. US 4104607 A, 01.08.78. |
Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт измерительных систем | Изобретатели: | Смолин В.К. Уткин В.П. | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт измерительных систем |
Реферат | |
Использование в области изготовления изделий с пленочными резистивными элементами. Технический результат: повышение воспроизводимости основных параметров резистивных элементов и расширение технологических возможностей в части унификации режимов нанесения и обработки резистивных слоев. Сущность изобретения: производят послойное нанесение на диэлектрическую подложку двух и более резистивных слоев из одного материала, производят термообработку перед каждым нанесением резистивного слоя предыдущих слоев, формируют конфигурацию резисторов и контактов, при этом термообработку производят цилиндрически в течение 25 - 30 мин путем последовательного помещения и выдержки подложки в жидком азоте, органическом растворителе и на воздухе, при этом время выдержки на каждой операции выбирают равным 30 - 60 с. 1 табл.
|