|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ТЕРМОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ |  |
Номер публикации патента: 2074429 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01C010/16 | | Аналоги изобретения: | Зайцев Ю.В. Полупроводниковые термоэлектрические преобразователи. - РиС, 1985. Марченко А.Н. и др. Кремниевые термоуправляемые резисторы. - Электронная техника, вып. 5, с. 251 - 259. |
| Имя заявителя: | Московский государственный институт электронной техники (технический университет) | | Изобретатели: | Андреев В.М.
Есенков А.П.
Зиновьев Д.В.
Тузовский К.А. | | Патентообладатели: | Московский государственный институт электронной техники (технический университет) |
Реферат | |
Использование: изобретение относится к полупроводниковой технике и предназначено для передачи электрического сигнала посредством тепловой энергии. Устройство обеспечивает высокую точность и стабильность работы при малой инерционности. Сущность изобретения: преобразователь состоит из терморезистора 1 и нагревателя 2 с контактными площадками 3 к ним. Терморезистор 1 и нагреватель 2 выполнены из одного и того же материала - монокристаллического кремния - в виде шин и размещены в подложке 4 из высокоомного поликремния. Причем терморезистор 1 и нагреватель 2 изолированы от подложки 4 слоем 5 из диоксида кремния. Поверх монокристаллической шины нагревателя 2 сформирован слой 6 из силицида переходного металла, например Ni, Cr, Ti, Мо. Слой 6 и контактные площадки 3 к нагревателю 2 и терморезистору 1 формируются в едином цикле, например, напылением, без усложнения технологического процесса. 3 ил., 1 табл.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента