RU 2278483 C2, 20.06.2006. RU 2252496 C2, 20.05.2005. RU 2206186 C2, 10.06.2003. WO 0197575 A1, 20.12.2001. WO 0101736 A1, 04.01.2001.
Имя заявителя:
Борисов Владимир Михайлович (RU), Прокофьев Александр Васильевич (RU), Христофоров Олег Борисович (RU)
Изобретатели:
Борисов Владимир Михайлович (RU) Прокофьев Александр Васильевич (RU) Христофоров Олег Борисович (RU)
Патентообладатели:
Борисов Владимир Михайлович (RU) Прокофьев Александр Васильевич (RU) Христофоров Олег Борисович (RU)
Реферат
Использование: для получения экстремального ультрафиолетового (ЭУФ) излучения. Сущность: заключается в том, что источник ЭУФ-излучения с двумя жестко закрепленными на валу вращения дискообразными электродами, подключенными посредством скользящих контактов к источнику питания, содержит систему инициирования разряда в периферийной области межэлектродного зазора и устройство подачи плазмообразующего металла на один из электродов, являющийся инициирующим, выполненное в виде сосуда с легкоплавким металлом, при этом сосудом с легкоплавким металлом является кольцевая полость, выполненная в инициирующем электроде и имеющая наружный диаметр, не превышающий диаметра рабочей зоны инициирующего электрода, в которую помещена концентричная с кольцевой полостью вставка из пористого материала таким образом, что один из ее торцов погружен в легкоплавкий металл, а второй торец размещен перед рабочей зоной инициирующего электрода. Технический результат: повышение энергетической стабильности источника ЭУФ-излучения. 1 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента