EP 0528542 A2, 24.02.1993. US 2003058429 A1, 27.03.2003. US 5812631 A, 22.09.1998. US 2002021782 A1, 21.02.2002. RU 2249840 C2, 07.12.2000. RU 2206186 C2, 04.07.2000.
Имя заявителя:
НАНО ЮВ (FR)
Изобретатели:
ЧОЙ Питер (FR)
Патентообладатели:
НАНО ЮВ (FR)
Приоритетные данные:
17.10.2003 FR 031 2202
Реферат
Изобретение относится к генерации излучения в заданном направлении и требуемом диапазоне длин волн. Способ генерации излучения в заданном направлении в требуемом диапазоне длин волн включает получение первоначального излучения с помощью источника излучения и фильтрацию первоначального излучения путем обеспечения управляемого распределения показателя преломления лучей в области управления. Фильтрация обеспечивает выборочное отклонение лучей первоначального излучения в зависимости от их длины волны и отбор лучей с заданной длиной волны. Управляемое распределение показателя преломления лучей получают путем управления распределением плотности электронов в области управления. Устройство для генерации излучения содержит источник первоначального излучения и средства фильтрации. Средства фильтрации содержат средства для обеспечения управляемого распределения показателя преломления лучей. Последние, в свою очередь, содержат средства для управления распределением плотности электронов в области управления. Устройство для литографии содержит указанное устройство для генерации излучения. Изобретение позволяет уменьшить вероятность повреждения средств фильтрации при сохранении падающего на них потока излучения и обеспечить генерацию излучения на требуемой длине волны. 3 н. и 25 з.п. ф-лы, 4 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента