Индукаев Константин Васильевич (RU), Осипов Павел Альбертович (RU)
Изобретатели:
Индукаев Константин Васильевич (RU) Осипов Павел Альбертович (RU)
Патентообладатели:
Индукаев Константин Васильевич (RU) Осипов Павел Альбертович (RU)
Реферат
Изобретение относится к областям техники, связанным с прецизионными координатными измерениями геометрии и локальных свойств материала нано- и микроструктур, протяженных в горизонтальном направлении, в частности интегральных микросхем, микроэлектромеханических систем и наномеханизмов. Изобретение направлено на расширение функциональных возможностей, увеличение достоверности измерений, повышение механической жесткости системы, а также на повышение чувствительности и быстроты реакции системы на отклонение координаты исполнительного органа от номинала. Этот результат обеспечивается за счет того, что многокоординатная метрологическая платформа содержит рабочий стол с нанесенными координатными метками для координатной привязки вертикально подвижных измерительных головок, а также двухкоординатный линейный привод для перемещения рабочего стола в горизонтальной плоскости во взаимно перпендикулярных направлениях по бесконтактным аэростатическим направляющим, сопрягаемые наклонные поверхности базы и каретки которых установлены с образованием зазоров для нагнетания текучей среды под давлением. Каретка одной из направляющих механически соединена с базой другой направляющей с возможностью их совместного перемещения. Одна из направляющих (по координате Y) выполнена с сужающейся, а другая (по координате X) - с расширяющейся в направлении рабочего стола кареткой. На образующей зазор наклонной поверхности каретки одной из направляющих и на образующей зазор наклонной поверхности базы другой направляющей установлены постоянные магниты, а на сопрягаемых с ними поверхностях - замыкатели. Постоянные магниты выполнены в виде вставок из намагниченного ферромагнитного материала с полюсными наконечниками из магнитомягкого материала, а замыкатели - из магнитомягкого материала. База верхней направляющей соединена с кареткой нижней направляющей, а база нижней направляющей неподвижно установлена в мостовой конструкции, на которой закреплены измерительные головки. В качестве измерительных головок - лазерный или амплитудный интерференционный фазово-поляризационный микроскоп. 9 з.п. ф-лы, 2 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента