|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| МЕХАНИЧЕСКИЙ ОСЦИЛЛЯТОР И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2352002 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G12B021/00 | | Аналоги изобретения: | US 5883705 А, 16.03.1999. JP 6-267408 А, 22.09.1994. RU 2227333 С1, 20.04.2004. |
| Имя заявителя: | ДЖАПАН САЙЕНС ЭНД ТЕКНОЛОДЖИ ЭЙДЖЕНСИ (JP) | | Изобретатели: | КОБАЯСИ Даи (JP)
КАВАКАЦУ Хидеки (JP)
ТОСИЕСИ Хироси (JP) | | Патентообладатели: | ДЖАПАН САЙЕНС ЭНД ТЕКНОЛОДЖИ ЭЙДЖЕНСИ (JP) |
Реферат | |
Изобретение относится к механическому осциллятору, который определяет начальную точку кантилевера на переднем крае основы и может определять длину кантилевера без зависимости от точности выравнивания и величины травления, и способу изготовления механического осциллятора. Механический осциллятор, полученный посредством обработки пластины, содержит основу, сформированную из подложки, поддерживающей пластину SOI, и структуру, являющуюся кантилевером, которая выполнена из кремниевой тонкой пленки пла
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента