|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КОМПОЗИТНЫХ КАНТИЛЕВЕРОВ ДЛЯ СКАНИРУЮЩЕГО ЗОНДОВОГО МИКРОСКОПА |  |
Номер публикации патента: 2340963 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G12B021/02 | | Аналоги изобретения: | US 6156216 А, 05.12.2000. JP 11201978, 30.07.1999. JP 2005265420, 29.09.2005. RU 2006101285 A, 12.07.2004. RU 2161344 C1, 12.11.1999. RU 96123203 A, 20.01.1999. |
| Имя заявителя: | ЗАО "НТ-МДТ" (RU) | | Изобретатели: | Рабухин Антон Леонидович (RU)
Ибрагимов Азат Ряшидович (RU)
Шубин Андрей Борисович (RU)
Сафронова Ольга Вениаминовна (RU) | | Патентообладатели: | ЗАО "НТ-МДТ" (RU) |
Реферат | |
Изобретение касается области туннельной и атомно-силовой микроскопии и описывает способ изготовления композитных кантилеверов для СЗМ с консолью из нитрида кремния и с кремниевой иглой. Предлагаемый способ включает в себя формирование из массива кремния вокруг служебных углублений оснований игл, соединяющих кремниевые иглы и консоли из нитрида кремния, что позволяет упростить технологический контроль за остротой иглы и расширить спектр выпускаемых изделий за счет кантилеверов с иглой любой высоты
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента