|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| НАНОТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ КОМПЛЕКС |  |
Номер публикации патента: 2308782 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01J037/26 G12B021/00 | | Аналоги изобретения: | RU 2158454 C1, 27.10.2000. RU 2227363 C1, 20.04.2004. RU 2254640 C1, 20.06.2005. WO 9838501 A1, 03.09.1998. US 5157256 A, 20.10.1992. |
| Имя заявителя: | ЗАО "Нанотехнология-МДТ" (RU) | | Изобретатели: | Быков Виктор Александрович (RU) | | Патентообладатели: | ЗАО "Нанотехнология-МДТ" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию и предназначено для замкнутого цикла производства новых изделий наноэлектроники. Нанотехнологический комплекс содержит блок загрузки носителей объектов (носителей зондов и носителей образцов) с объектами (зондами и образцами), блок подготовки объектов, камеру измерения, включающую сканирующий зондовый микроскоп, с первой системой координатного перемещения, на которой закреплен первый держатель носителей зондов, носитель образцов, пространс
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента