|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ЗОНД ДЛЯ СКАНИРУЮЩЕЙ ЕМКОСТНОЙ МИКРОСКОПИИ |  |
Номер публикации патента: 2289862 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G12B021/02 | | Аналоги изобретения: | JP 08-201400, 09.08.1996. RU 2000121897 A, 20.08.2002. RU 794399, 07.01.1981. RU 2089972 C1, 10.09.1997. JP 9021829, 21.01.1997. RU 36144 U1, 27.02.2004. SU 280657, 03.09.1970. |
| Имя заявителя: | ЗАО "НТ-МДТ" (RU) | | Изобретатели: | Быков Виктор Александрович (RU)
Быков Андрей Викторович (RU)
Мягков Игорь Вениаминович (RU)
Трегубов Генадий Антонович (RU)
Поляков Вячеслав Викторович (RU) | | Патентообладатели: | ЗАО "НТ-МДТ" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к сканирующей зондовой микроскопии, а более конкретно к системам измерения емкости между зондом и образцом из металла или полупроводника, покрытого тонким слоем диэлектрика. Зонд состоит из консоли с укрепленной на одном ее конце иглой, закрепленной на чипе другой стороной. Зонд имеет проводящий слой на поверхности зонда со стороны иглы.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента