На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП, СОВМЕЩЕННЫЙ С УСТРОЙСТВОМ МОДИФИКАЦИИ ПОВЕРХНОСТИ ОБЪЕКТА | |
Номер публикации патента: 2282257 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | G12B021/20 | Аналоги изобретения: | RU 2233490 C1, 27.07.2004. US 6337479 A, 08.01.2002. US 2005172703, 11.08.2005. RU 2152063 C1, 27.06.2000. SU 1019520 A1, 23.05.1983. |
Имя заявителя: | ЗАО "НТ-МДТ" (RU) | Изобретатели: | Мартин Мюллер (CH) Мацко Надежда Борисовна (CH) Ефимов Антон Евгеньевич (RU) Саунин Сергей Алексеевич (RU) Соколов Дмитрий Юрьевич (RU) | Патентообладатели: | ЗАО "НТ-МДТ" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройствам измерения с помощью сканирующего зондового микроскопа рельефа, линейных размеров и физических характеристик поверхности объектов в режимах сканирующего туннельного микроскопа, атомно-силового микроскопа и близкопольного оптического микроскопа.
|