На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
КООРДИНАТНЫЙ СТОЛ | |
Номер публикации патента: 2254640 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | H01L041/00 G12B021/00 G02B021/26 | Аналоги изобретения: | US 5360974 A, 01.11.1994. SU 411983 А, 25.01.1974. SU 948603 A, 07.08.1982. SU 783892 A, 30.11.1980. RU 2080631 C1, 27.05.1997. DE 4226072 A1, 11.02.1993. US 3835338 A, 10.09.1974. WO 88/05524 A1, 28.07.1988. |
Имя заявителя: | ЗАО "НТ-МДТ" (RU),Государственный НИИ Физических проблем им. Ф.В. Лукина (RU) | Изобретатели: | Полторацкий Э.А. (RU) Соколов Д.Ю. (RU) | Патентообладатели: | ЗАО "НТ-МДТ" (RU) Государственный НИИ Физических проблем им. Ф.В. Лукина (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к нанотехнологии, а более конкретно к устройствам, обеспечивающим перемещения объекта по трем координатам (X, Y, Z) и точную повторяемость положений объекта при его переустановке, например для перемещения образцов, держателей образцов, зондов и других элементов в сканирующей зондовой микроскопии.
|