|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| МНОГОЗОНДОВЫЙ ДАТЧИК КОНСОЛЬНОГО ТИПА ДЛЯ СКАНИРУЮЩЕГО ЗОНДОВОГО МИКРОСКОПА |  |
Номер публикации патента: 2249263 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G12B021/00 | | Аналоги изобретения: | US 5166520, 24.11.1992. US 6520778 B1, 18.02.2003. RU 2161344 C1, 27.12.2000. RU 2124251 C1, 27.12.1998. RU 2152063 C1, 27.06.2000. |
| Имя заявителя: | ЗАО "НТ-МДТ" (RU) | | Изобретатели: | Быков В.А. (RU)
Саунин С.А. (RU)
Михайлов Г.М. (RU)
Аристов В.В. (RU)
Барт Вольфганг (DE)
Дебски Томас (DE) | | Патентообладатели: | ЗАО "НТ-МДТ" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к области сканирующей зондовой микроскопии. В многозондовом датчике консольного типа содержится основание, плоские гибкие консоли с управляющими приводами и кремниевыми зондами. Кремниевый зонд содержит пьедестал. Пьедестал выполнен в виде призмы, одной боковой гранью закрепленной на плоской гибкой консоли.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента