На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
ПЬЕЗОСКАНЕР МНОГОФУНКЦИОНАЛЬНЫЙ И СПОСОБ СКАНИРОВАНИЯ В ЗОНДОВОЙ МИКРОСКОПИИ | |
Номер публикации патента: 2248628 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | G12B021/20 H01L041/00 | Аналоги изобретения: | RU 2199171 С2, 20.02.2003. US 4945235, 31.07.1990. SU 1797149 A1, 23.02.1993. RU 2164362 С2, 20.03.2001. SU 1541741 А1, 07.02.1990. US 5200617, 06.04.1993. |
Имя заявителя: | ЗАО "НТ-МДТ" (RU) | Изобретатели: | Быков В.А. (RU) Саунин С.А. (RU) Соколов Д.Ю. (RU) | Патентообладатели: | ЗАО "НТ-МДТ" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к сканирующей зондовой микроскопии. Пьезосканер содержит основание, на котором закреплена пьезотрубка со сквозными пазами, выполненными вдоль продольной оси симметрии пьезотрубки и образующими четыре фрагмента. На каждом фрагменте пьезотрубки сформированы основные электроды. Внутренние электроды расположены напротив наружных электродов.
|