|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП, СОВМЕЩЕННЫЙ С УСТРОЙСТВОМ МЕХАНИЧЕСКОЙ МОДИФИКАЦИИ ПОВЕРХНОСТИ ОБЪЕКТА |  |
Номер публикации патента: 2233490 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G12B021/20 G02B021/00 H01J037/28 | | Аналоги изобретения: | US 5461907 А, 31.10.1995. US 6337479 A, 05.03.2002. US 6337479 A, 08.01.2002. RU 2161343 C2, 27.12.2000. |
| Имя заявителя: | ЗАО "НТ-МДТ" (RU) | | Изобретатели: | МЮЛЛЕР Мартин (CH)
Ефимов А.Е. (RU)
Быков В.А. (RU)
Саунин С.А. (RU) | | Патентообладатели: | ЗАО "НТ-МДТ" (RU) |
Реферат | |
Сканирующий зондовый микроскоп содержит корпус, на котором установлено сканирующее устройство по трем координатам с держателем зонда, держатель объекта, устройство позиционного перемещения зонда относительно объекта, содержащее первый привод, устройство предварительного сближения держателя с держателем объекта и устройство модификации поверхности объекта.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента