На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП С СИСТЕМОЙ АВТОМАТИЧЕСКОГО СЛЕЖЕНИЯ ЗА КАНТИЛЕВЕРОМ | |
Номер публикации патента: 2227333 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | G12B021/20 G02B021/00 H01J037/28 | Аналоги изобретения: | US 5560244 А, 01.10.1996.US 5861550 А, 19.01.1999.US 5245863 A, 21.09.1993.RU 2180726 C1, 20.03.2002. |
Имя заявителя: | ЗАО "НТ-МДТ" | Изобретатели: | Беляев А.В. Жижимонтов В.В. Быков В.А. Саунин С.А. | Патентообладатели: | ЗАО "НТ-МДТ" |
Реферат | |
Сканирующий зондовый микроскоп с системой слежения за кантилевером содержит сопряженный с основанием сканер с кантилевером, закрепленным на сканере с возможностью взаимодействия с образцом, первое зеркало, связанное со сканером, и лазер, оптически сопряженный с первым зеркалом, кантилевером и фотоприемником.
|