RU 2158454 C1, 27.10.2000. RU 2227363 C1, 20.04.2004. RU 2254640 C1, 20.06.2005. US 5157256 A, 20.10.1992. JP 1216204 A, 30.08.1989.
Имя заявителя:
ЗАО "Нанотехнология-МДТ" (RU)
Изобретатели:
Божко Сергей Иванович (RU) Соколов Дмитрий Юрьевич (RU)
Патентообладатели:
ЗАО "Нанотехнология-МДТ" (RU)
Реферат
Изобретение относится к вакуумной технике и предназначено для проведения операций по перемещению объектов внутри вакуумных систем. Изобретение может быть использовано для осуществления загрузки и выгрузки зондов и образцов в сканирующих зондовых микроскопах, эксплуатируемых в условиях вакуума с ограниченным визуальным доступом к зоне перегрузки. Сверхвысоковакуумная транспортная система содержит загрузочную камеру с установленными на ней первым манипулятором с захватом и вторым манипулятором с кассетой для носителей зондов и носителей образцов, в которой загрузочная камера состыкована с измерительной камерой, содержащей первый держатель носителей зондов и второй держатель носителей образцов, кассета для носителей зондов и носителей образцов выполнена линейной, а захват первого манипулятора сопряжен с первым держателем носителей зондов и вторым держателем носителей образцов. Подобное выполнение устройства повышает надежность его эксплуатации в условиях ограниченного визуального доступа. 5 з.п. ф-лы, 2 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента