На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Вернуться к списку

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МОНОП - ЯЧЕЙКИ ПАМЯТИ, ЯЧЕЙКА ПАМЯТИ И МАТРИЧНЫЙ НАКОПИТЕЛЬ НА ЕЕ ОСНОВЕ

Номер публикации патента: 95106257

Вид документа:  A1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  95106257

Реферат

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано для создания ЗРПЗУ с повышенной информационной плотностью на основе МОНОП-транзисторов, в частности перепрограммируемых инжекцией горячих носителей заряда. Технический результат достигается тем, что в качестве ячейки памяти применяют МДП-транзистор, содержащий боковой спейсерный затвор. Диэлектриком под боковым затвором служит структура SiO₂-Si₃N₄-SiO₂. Благодаря малой ширине спейсера область инжекции горячих дырок в подзатворный диэлектрик перекрывает область захвата отрицательного информационного заряда. За счет этого увеличивается эффективность стирания и циклоустойчивость ячеек памяти. На основе предлагаемой МОНОП-ячейки памяти разработан накопитель с возможностью индивидуальной выборки во всех режимах работы и защищенный от изменения логического состояния невыбранных ячеек памяти при записи и стирании информации.

Вернуться к списку