На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
ДИНАМИЧЕСКАЯ ЯЧЕЙКА ПАМЯТИ | |
Номер публикации патента: 2029393 | |
Редакция МПК: | 6 | Основные коды МПК: | G11C011/40 | Аналоги изобретения: | 1. A new dinamir RAM cell in recrystallizedpolysilicon Jnternal Electron Divices, 1982. |
Имя заявителя: | Московский институт электронной техники | Изобретатели: | Тадевосян С.Г. Глазов В.М. Королев М.А. Ханжин А.П. Шумский И.А. | Патентообладатели: | Московский институт электронной техники |
Реферат | |
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в полупроводниковых ИС в качестве ячейки памяти. Целью изобретения является повышение степени интеграции и надежности ячейки памяти. Цель достигается за счет того, что динамическая ячейка памяти содержит четвертый и пятый диэлектрические слои, второй проводящий слой из тугоплавкого металла, причем в пятом диэлектрическом слое выполнено отверстие, а контактный слой из окисла тугоплавкого металла расположен в отверстии пятого диэлектрического слоя с примыканием к полупроводниковому слою и второму проводящему слою. Данная конструкция позволяет уменьшить площадь ячейки на 40% при одновременном увеличении ее надежности за счет повышения радиационной стойкости и уменьшения токов утечки в 5 раз. 2 ил.
|