|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| КАНТИЛЕВЕР ДЛЯ СКАНИРУЮЩЕГО ЗОНДОВОГО МИКРОСКОПА |  |
Номер публикации патента: 2124780 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01J037/28 G11B011/08 | | Аналоги изобретения: | US 4943719 A, 24.07.90. Boisen A et al AFM probes with directly fabrication tips. J. Micromec. Microeng, N 6, 1996, p.61. US 5469733A, 28.11.95. SU 1721662 A1, 23.03.92. |
| Имя заявителя: | Закрытое акционерное общество "НТ-МДТ" | | Изобретатели: | Быков В.А.
Гологанов А.Н. | | Патентообладатели: | Закрытое акционерное общество "НТ-МДТ"
Закрытое акционерное общество "Силикон-МДТ" |
Реферат | |
Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, а именно к устройствам, обеспечивающим наблюдение, измерение и модификацию поверхности объектов в туннельном и атомно-силовом режимах. Предлагаемый кантилевер для сканирующего зондового микроскопа включает основание, к которому крепится балка, на дальнем от основания конце которой расположена игла. Балка кантилевера выполнена с поперечным утонением. Изобретение позволяет снизить паразитную поперечную чувствительность при сохранении высокой добротности собственных резонансных колебаний балки кантилевера. 2 з.п.ф-лы, 4 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента