WO 2004/064055 А1, 29.07.2004. US 6242044 B1, 05.06.2001. RU 2068200 С1, 20.10.1996. US 6407009 B1, 18.06.2002.
Имя заявителя:
СИНГУЛУС ТЕКНОЛОДЖИЗ АГ (DE)
Изобретатели:
ХАЙНЦ Бернд (CH) ЯВАСЕР Кем (CH) ПФАФФ Томас (CH) ШТАЙНКЕЛЛЕР Йозеф (CH)
Патентообладатели:
СИНГУЛУС ТЕКНОЛОДЖИЗ АГ (DE)
Приоритетные данные:
08.11.2005 US 11/269,911
Реферат
Продемонстрирован способ и устройство для распределения вязкой жидкости по поверхности подложки с высокой равномерностью в определенной области, а также способ изготовления подложки. Способ распределения вязкой жидкости содержит следующие этапы: подложку помещают по существу горизонтально на опору, наносят вязкую отверждаемую ультрафиолетом (УФ) жидкость на поверхность упомянутой подложки. Также подложку вращают для распределения жидкости радиально наружу, жидкость термически кондиционируют на подложке для того, чтобы локально повлиять на ее вязкость особым образом, затем жидкость экспонируют УФ-излучением первой интенсивности для частичного отверждения жидкости и после удаляют центрифугированием избыточную жидкость с диска и экспонируют жидкость УФ-излучением второй интенсивности для отверждения жидкости. Технический результат заявленного изобретения заключается в том, что указанный способ позволяет управлять вязкостью жидкости, которая распределяется во время центрифугирования, кроме этого, данное изобретение позволяет равномерно распределить указанную жидкость. 3 н. и 29 з.п. ф-лы, 2 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента