На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
БЕЗМАСОЧНЫЙ СПОСОБ ЛАЗЕРНО - ИНДУЦИРОВАННОГО ФОРМИРОВАНИЯ ПЕРИОДИЧЕСКОГО РЕЛЬЕФА С ФАЗОВЫМИ СДВИГАМИ | |
Номер публикации патента: 2185648 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | G03H001/28 | Аналоги изобретения: | US 4859548 A, 22.08.1989. US 4806454 A, 21.02.1989. US 4402571 A, 06.09.1983. US 6067391 A, 23.05.2000. SU 1653514 A1, 20.02.1996. |
Имя заявителя: | Отделение перспективных лазерных технологий Института проблем лазерных и информационных технологий РАН | Изобретатели: | Соколов В.И. Худобенко А.И. Панченко В.Я. | Патентообладатели: | Отделение перспективных лазерных технологий Института проблем лазерных и информационных технологий РАН |
Реферат | |
Изобретение относится к области лазерных технологий, более конкретно, к безмасочным способам лазерно-индуцированного формирования рельефа на поверхности полупроводниковых материалов, и может быть использовано при производстве одночастотных полупроводниковых лазеров с распределенной обратной связью (РОС-лазеров).
|