

	Главная Патентный отдел Технологии Справочник ГРНТИ Прием Наши координаты Обратная связь

Поиск патентов

Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

Патентный отдел

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ LIGA - ШАБЛОНА

Номер публикации патента: 2431882

Вид документа:	C1
Страна публикации:	RU
Рег. номер заявки:	2010113902/28

Получить полное описание патента

Редакция МПК:	6
Основные коды МПК:	G03G015/054
Аналоги изобретения:	RU 2350995 С2, 27.03.2009. RU 2350996 C1, 27.03.2009. JP 2005175406 A, 30.06.2005. US 7608367 B1, 27.10.2009. US 64825553 B1, 19.11.2002. JP 7135156 A, 23.05.1995.

Имя заявителя:	Учреждение Российской академии наук Институт ядерной физики им. Г.И. Будкера Сибирского отделения РАН (ИЯФ СО РАН) (RU)
Изобретатели:	Генцелев Александр Николаевич (RU) Зелинский Александр Георгиевич (RU) Кондратьев Владимир Иванович (RU)
Патентообладатели:	Учреждение Российской академии наук Институт ядерной физики им. Г.И. Будкера Сибирского отделения РАН (ИЯФ СО РАН) (RU)

Реферат

Изобретение относится к LIGA-технологии. Заявленный способ изготовления LIGA-шаблона характеризуется тем, что исходную подложку изготавливают из бериллиевой фольги, на рабочей поверхности подложки создают буферный (защитный) слой из проэкспонированного и задубленного негативного фоторезиста SU-8. Технический результат - обеспечение высокого уровня контрастности и рентгенопрозрачности. 3 ил.

Вернуться к списку

Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь

Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"