Изобретение относится к способу обработки жидкости, который включает удаление компонента смолы из жидкости, используемой для отслаивания компонента органической смолы с поверхности подложки. Способ обработки жидкости включает разложение смолы в жидкости с помощью обеспечения контакта газообразного озона с жидкостью, содержащей водорастворимое карбонильное соединение и смолу. Также способ обработки жидкости включает удаление органической кислоты, генерируемой при разложении смолы из жидкости посредством подвергания жидкости после разложения ионному обмену на ионообменной смоле. При этом ионообменная смола включает анионообменную смолу. Причем жидкость, подлежащая ионному обмену, содержит воду. При этом водорастворимое карбонильное соединение представляет собой, по меньшей мере, одно, выбранное из -бутиролактона, этиленкарбоната, этиленацетата и глицеролацетата. Кроме того, жидкость, которую используют для контакта с газообразным озоном при разложении, получают посредством использования жидкости, содержащей водорастворимое карбонильное соединение и воду, в качестве растворителя, и удаления смолы с подложки, снабженной смолой. Техническим результатом изобретения является обеспечение повторного использования отслаивающей жидкости для удаления компонентов смолы, а также использования отслаивающей жидкости, которая не вызывает коррозию металла на подложке. 10 з.п. ф-лы, 3 ил., 1 табл.
Поиск патентов
Получить полное описание патента