RU 2370799 C1, 20.10.2009. EP 65994 A1, 08.12.1982. SU 402850 A1, 19.10.1973. SU 834399 A1, 30.05.1981.
Имя заявителя:
Открытое акционерное общество "Производственное объединение "Уральский оптико-механический завод" имени Э.С.Яламова" (ОАО "ПО "УОМЗ") (RU)
Изобретатели:
Кручинин Дмитрий Юрьевич (RU)
Патентообладатели:
Открытое акционерное общество "Производственное объединение "Уральский оптико-механический завод" имени Э.С.Яламова" (ОАО "ПО "УОМЗ") (RU)
Реферат
Способ содержит первую чистку заготовки с металлическим покрытием. Далее наносят фоторезист на заготовку и сушат ее. Проводят первую термообработку заготовки, экспонирование, проявление и вторую термообработку заготовки. Осуществляют травление и вторую чистку заготовки. После проявления производят дополнительное ретуширование заготовки защитным лаком. Операцию травления заготовки делят на травление защитного металлического покрытия, рельефное химическое травление заготовки через защитные фоторезистивное, лаковое и металлическое покрытия и травление металлического покрытия после второй чистки заготовки. Лаковое покрытие удаляют после рельефного химического травления и перед второй чисткой производят запуск. Рельефное химическое травление заготовки производят или травителем в виде пасты, или жидким травителем, или в парах травителя. Технический результат - изготовление высокоточных оптических шкал произвольной топологии с высокой чистотой полированной поверхности. 2 н. и 2 з.п. ф-лы.
Поиск патентов
Получить полное описание патента