|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| РЕНТГЕНОЛИТОГРАФИЧЕСКИЙ ШАБЛОН И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2339067 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G03F007/12 | | Аналоги изобретения: | JP 53030277 А, 22.03.1978. RU 2055418 C1, 27.02.1996. SU 864383 А, 15.09.1981. RU 2145111 C1, 27.01.2000. |
| Имя заявителя: | Институт ядерной физики СО РАН (RU) | | Изобретатели: | Генцелев Александр Николаевич (RU)
Гольденберг Борис Григорьевич (RU)
Елисеев Владимир Сергеевич (RU)
Кондратьев Владимир Иванович (RU)
Петрова Екатерина Владимировна (RU)
Пиндюрин Валерий Федорович (RU) | | Патентообладатели: | Институт ядерной физики СО РАН (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к измерительной технике. В изобретении топологические рентгенопоглощающие рисунки из металла с большим атомным номером формируются на обеих поверхностях несущей мембраны рентгенолитографического шаблона в виде симметричных пространственно совмещенных структур одинаковой толщины.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента