На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ГАЗОВОГО СЕНСОРА | |
Номер публикации патента: 2336548 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | G03F007/16 | Аналоги изобретения: | Zee F., Judy J.W. Micromachined polymer-based chemical gas sensor array // Sensors and Actuators, В 72, 2001, pp.120-128. SU 583402, 08.12.1977. RU 2282227, 20.08.2006. SU 1829751, 27.08.1996. SU 1210584 A1, 27.10.1998. DE 10056776, 11.10.2001. US 4001061, 04.01.1977. |
Имя заявителя: | Федеральное государственное унитарное предприятие "Ордена Трудового Красного Знамени научно-исследовательский физико-химический институт имени Л.Я. Карпова" (RU) | Изобретатели: | Жукова Светлана Александровна (RU) | Патентообладатели: | Федеральное государственное унитарное предприятие "Ордена Трудового Красного Знамени научно-исследовательский физико-химический институт имени Л.Я. Карпова" (RU) |
Реферат | |
Способ изготовления газового сенсора включает последовательное формирование на подложке системы контактов методами микротехнологии и чувствительного элемента на основе композиционного материала, состоящего из полимерной матрицы, армированной частицами наполнителя. В качестве материала полимерной матрицы используют фоточувствительные композиции.
|