Промышленная Сибирь Ярмарка Сибири Промышленность СФО Электронные торги НОУ-ХАУ Электронные магазины Карта сайта
 
Ника
Ника
 

Поиск патентов

Как искать?
Реферат
Название
Публикация
Регистрационный номер
Имя заявителя
Имя изобретателя
Имя патентообладателя

    





Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»


СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОДЛОЖКИ С РЕЗИСТОМ

Номер публикации патента: 2334261

Вид документа: C1 
Страна публикации: RU 
Рег. номер заявки: 2005129551/04 
  Сделать заказПолучить полное описание патента

Редакция МПК: 
Основные коды МПК: G03F007/09   H01J037/317   G03F007/20    
Аналоги изобретения: M.GENTILI ЕТ AL. Journal of Vacuum Science and Technology: part B. - N-W, 1994, bd.12, 6, p.3954-3958. US 2001/0019802 A1, 06.09.2001. US 3961102 A, 01.06.1976. SU 1829679 A, 20.05.1995. RU 97110123 A, 10.06.1999. 

Имя заявителя: ГИЗЕКЕ УНД ДЕВРИЕНТ ГМБХ (DE) 
Изобретатели: КАУЛЕ Виттих (DE) 
Патентообладатели: ГИЗЕКЕ УНД ДЕВРИЕНТ ГМБХ (DE) 

Реферат


Изобретение относится к способу изготовления подложки, снабженной слоем резиста с рельефной структурой, воспроизводящей дифракционную структуру. К слою резиста по меньшей мере на отдельных участках примыкает проводящий слой, который при экспонировании слоя резиста электронным лучом рассеивает первичные электроны и/или эмиттирует вторичные электроны.


Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь
Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"