|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ЛИТОГРАФИЧЕСКОЕ УСТРОЙСТВО |  |
Номер публикации патента: 2249840 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G03F007/20 | | Аналоги изобретения: | WO 96/04665 A1, 15.02.1996. US 5305364 A, 19.04.1994. US 4684565 A, 04.08.1987. WO 99/42905 A1, 26.08.1999. RU 2071142 C1, 27.12.1996. |
| Имя заявителя: | КОММИССАРИАТ А Л`ЭНЕРЖИ АТОМИК (FR) | | Изобретатели: | БАБОННО Даниель (FR)
МАРМОРЕ Реми (FR)
БОННЕ Лоранс (FR) | | Патентообладатели: | КОММИССАРИАТ А Л`ЭНЕРЖИ АТОМИК (FR) |
Реферат | |
Литографическое устройство содержит опору для образца, маску, источник излучения в экстремальном ультрафиолетовом диапазоне спектра, оптическое средство для собирания и передачи излучения к маске и оптическое средство для уменьшения этого изображения и проекции уменьшенного изображения на образец. Устройство содержит многослойные зеркала, каждое из которых содержит подложку и комплект чередующихся слоев первого и второго материалов.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента