|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СУХОЙ ПЛЕНОЧНЫЙ ФОТОРЕЗИСТ |  |
Номер публикации патента: 2190869 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G03F007/037 | | Аналоги изобретения: | GB 1549952 A, 08.09.1979. GB 1361298 A, 24.07.1974. EP 0418870 A2, 27.03.1991. US 5962198 A, 05.10.1999. EP 0571899 A1, 01.12.1993. SU 1779170 A1, 27.01.1995. |
| Имя заявителя: | Российский химико-технологический университет им. Д.И.Менделеева | | Изобретатели: | Цейтлин Г.М.
Кузнецов И.В. | | Патентообладатели: | Российский химико-технологический университет им. Д.И.Менделеева |
Реферат | |
Описывается сухой пленочный фоторезист, который используется для получения защитных рельефов с повышенной термостойкостью при изготовлении микросхем и плат печатного монтажа. Сухой пленочный фоторезист водно-щелочного проявления содержит карбоксилсодержащий полимер, полярный олигомер - метакрилированную эпоксидную смолу на основе 4,4'-диокси-(2,2-дифенилпропана) с мол.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента