|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ФОТОШАБЛОННАЯ ЗАГОТОВКА |  |
Номер публикации патента: 2206115 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G03F001/00 G03F001/08 G03F001/14 | | Аналоги изобретения: | RU 1577555 A1, 20.01.1996. RU 1501756 A1, 20.02.1996. SU 723797 A, 25.03.1980. SU 922917 A, 23.04.1982. US 4797334, 10.01.1989. US 5089361 A, 18.02.1992. GB 2090016 A, 30.06.1982. GB 1481623 A, 03.08.1977. GB 1294585 А, 01.11.1972. |
| Имя заявителя: | Закрытое акционерное общество "Элма-Фотма" | | Изобретатели: | Никитин С.А. | | Патентообладатели: | Закрытое акционерное общество "Элма-Фотма" |
Реферат | |
Фотошаблонная заготовка содержит на стеклянном основании покрытие и пленку резиста. В качестве материала покрытия использовано соединение общей формулы МmЭn, где М - хром, железо; Э - азот, кислород; m и n - атомное соотношение М и Э, причем m>3, n<4. В качестве пленки резиста использован фоторезист или электронорезист.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента