|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ УСТРАНЕНИЯ ДЕФЕКТОВ В МАСКИРУЮЩЕМ ПОКРЫТИИ ФОТОШАБЛОНА |  |
Номер публикации патента: 2017190 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G03F001/00 | | Аналоги изобретения: | "Известия ЛЭТИ", 1988, вып.393, с.33-38. |
| Имя заявителя: | Акционерное общество "Техномап" | | Изобретатели: | Трейгер Л.М. | | Патентообладатели: | Акционерное общество "Техномап" |
Реферат | |
Использование: устранение прозрачных дефектов фотошаблонов в производстве полупроводниковых приборов, интегральных микросхем и устройств функциональной электроники. Сущность изобретения: в кювету с ретуширующей жидкостью вводят световод, освещающий фотошаблон со стороны маскирующего покрытия. После обнаружения дефектного участка в проходящем свете, излучаемом световодом, жидкость нагревают до температуры менее температуры кипения металлоорганического соединения (МОС).
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента