|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ФОТОШАБЛОННЫХ ЗАГОТОВОК |  |
Номер публикации патента: 2319189 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G03F001/08 | | Аналоги изобретения: | RU 2208920 C1, 20.07.2003. JP 7319149, 08.12.1995. UA 67942, 15.07.2004. SU 1501756 A1, 20.02.1996. US 4001466 А, 04.01.1977. |
| Имя заявителя: | Закрытое акционерное общество "Элма-Фотма" (RU) | | Изобретатели: | Никитин Сергей Алексеевич (RU) | | Патентообладатели: | Закрытое акционерное общество "Элма-Фотма" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к фотошаблонным заготовкам, предназначенным для получения шаблонов с последующей передачей рисунка микроизображения на полупроводниковую пластину при изготовлении интегральных схем. Предлагается в процессе нанесения маскирующего слоя окиси железа окислительным пиролизом пентакарбонила железа в газ-носитель вводить окислитель в виде газообразного галогена, что стабилизирует процесс окисления и делает его более полным.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента