|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ СУХОГО ПОЛУЧЕНИЯ ПОЗИТИВНОГО ИЗОБРАЖЕНИЯ В ФОТОЛИТОГРАФИИ |  |
Номер публикации патента: 2029979 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | G03C005/16 | | Аналоги изобретения: | Авторское свидетельство СССР N 1094465, кл. G 03C 1/68, 1981. |
| Имя заявителя: | Институт энергетических проблем химической физики РАН | | Изобретатели: | Дорофеев Ю.И. | | Патентообладатели: | Институт энергетических проблем химической физики РАН |
Реферат | |
Использование: в электронной промышленности для формирования скрытых изображений и их сухого проявления. Сущность изобретения: способ заключается в том, что полимерная пленка на подложке облучается через фотошаблон вакуумным ультрафиолетовым светом в парах стирола, затем она облучается в вакууме без фотошаблона излучением с длиной волны в интервале 20 - 250 НМ. После этого полимерная пленка на подложке выдерживается в насыщенных парах йода при температуре от 20°С до температуры, не превышающей температуру стеклования полимерной пленки, затем полимерная пленка выдерживается в среде газообразного озона, и проявляется скрытое позитивное изображение травлением в кислородной плазме.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента