На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
ФОТОПОЛИМЕРИЗУЮЩАЯСЯ КОМПОЗИЦИЯ ДЛЯ СУХОГО ПЛЕНОЧНОГО ФОТОРЕЗИСТА | |
Номер публикации патента: 2163724 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | G03C001/72 H01L031/08 | Аналоги изобретения: | SU 1311456 A1, 20.04.1995. RU 2124029 C1, 27.12.1998. US 5372912 A, 31.12.1992. |
Имя заявителя: | Тряпицын Сергей Алексеевич | Изобретатели: | Тряпицын С.А. | Патентообладатели: | Тряпицын Сергей Алексеевич |
Реферат | |
Изобретение относится к фторполимеризующимся композициям для сухих пленочных фоторезистов водно-щелочного проявления, находящих применение для получения рисунка при изготовлении печатных плат в радиоэлектронной промышленности. Описывается фотополимеризующаяся композиция для сухого пленочного фоторезиста, включающая сополимер стирола с моно-н-бутилмалеинатом, дифункциональный акрилат, (-хлор-2-гидрокси-3-метакрилоилоксипропан, ингибитор, фотоинициатор, краситель и соединение гликоля. Она отличается тем, что содержит сополимер стирола с моно-н-бутилмалеинатом с ММ = 20 - 35,0 тыс.у.е., а в качестве соединения гликоля - продукт этерификации гликоля дикарбоновой кислотой формулы 1: НООС-(А)-СО-(СН2-СН2-О-)-СО-(А)-СООН, где А = -(СН2-)4-, (СН2-)6- или m = 1 - 3, при следующем соотношении компонентов, мас.ч.: сополимер стирола с моно-н-бутилмалеинатом 100, фотоинициатор 3 - 8, ингибитор 0,01 - 0,1, дифункциональный акрилат 40 - 70, 1-хлор-2-гидрокси-3-метакрилоилоксипропан 5 - 35, краситель 0,15 - 0,35, соединение структурной формулы 1 0,3 - 5,0. Технический результат - повышение гальванохимической стойкости композиции в электролитах меднения, в том числе устойчивости к щелочным растворам травления. 1 табл.
|