|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ РЕНТГЕНОВСКОЙ ЛИТОГРАФИИ |  |
Номер публикации патента: 2187160 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G21K005/00 G03B042/02 | | Аналоги изобретения: | US 5175755 A, 29.12.1992. SU 1639313 A1, 20.04.1998. RU 2109358 C1, 20.04.1998. RU 2122757 C1, 27.11.1998. US 4969169 A, 06.11.1990. |
| Имя заявителя: | Кумахов Мурадин Абубекирович | | Изобретатели: | Кумахов М.А. | | Патентообладатели: | Кумахов Мурадин Абубекирович |
Реферат | |
Изобретение относится к устройствам для контактной литографии. Устройство содержит источник мягкого рентгеновского излучения (1), полулинзу (2), маску (3), подложку (4) с нанесенным на нее резистом (5) и поглощающий фильтр (6). Источник (1) выполнен предпочтительно в виде рентгеновской трубки с вращающимся анодом.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента